Exploiter原子层沉积系统是原速科技自主开发的新一代智能化ALD研发系统,广泛适用于纳米材料、微机电系统、催化剂、生物膜材料及光电材料等领域。可在硅片、玻璃表面、三维物体、>3nm纳米材料的粉末颗粒表面实现全方位均匀材料包覆。

系统优势

(1)传输管路的优化设计,有效地避免管路堵塞及交叉污染问题

(2)工业化级别标准集成

(3)软件操作界面友好

(4)全方位可靠的安全互锁方案

(5)实时监测镀膜工艺

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