设备制造和维护
根据客户的具体应用需求,定制化地设计、开发及制造原子层沉积设备,并根据提供后续的维修服务。
技术方案
根据薄膜的特定应用体系,为客户提供原材料选择、工艺路线制定等全方位服务。
工艺开发
提供薄膜材料的最优制备工艺。
氧化物:Al2O3、TiO2、SiO2、HfO2、Ta2O5、ZrO2、ZnO、SnO2、La2O3、Lu2O3等。
金属材料及合金:Fe、Co、Ni、Cu、Ru、Pt等。
二元/多元材料:GaN、AlN、HfON、LaAlO3、MnN、WN等。
镀膜服务
为客户提供定制化镀膜加工服务。