ALD
应用领域
能源
三维全固态锂电池
纳米结构光电极
表面钝化和敏化
能带调控
燃料电池
光电化学分解水
微电子
MOSFET器件
碳纳米管
半导体FET器件
随机存储器
阻变存储器
磁记录存储材料
阻挡层
籽晶层
纳米
微纳机电系统
纳流体器件
单分子传感器
磁隧道结器件
催化
颗粒和高深宽比结构
负载型金属催化剂
氧化物催化剂
光学
光子晶体
表面等离激元
光学微腔
其他光学器件
生物
生物模板和仿生
生物相容性涂层
生物检测电子器件
生物传感器
聚合物
