ALD
应用领域
能源
电池材料
三维全固态锂电池
电极材料表面修饰
纳米结构光电极
表面钝化和敏化
能带调控
超级电容器
燃料电池
光电化学分解水
微电子
MOSFET器件
碳纳米管
半导体FET器件
随机存储器
阻变存储器
磁记录存储材料
阻挡层
籽晶层
高密度IM/MOM电容
纳米
微纳机电系统
纳流体器件
单分子传感器
磁隧道结器件
催化
颗粒和高深宽比结构
负载型金属催化剂
氧化物催化剂
光学
光子晶体
表面等离激元
光学微腔
其他光学器件
生物
生物模板和仿生
生物相容性涂层
生物检测电子器件
生物传感器
聚合物
