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  • Exploiter新一代智能化ALD材料研发系统

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    热法沉积系统

    Thermal-ALD 
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    等离子增强系统

    PEALD

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    手套箱集成系列

    Glove Box Integrated

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    大尺寸沉积系统

    Large-Area ALD

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    粉体包裹系统

    PA系列

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    超高真空系列

    UHV ALD

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